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同步相移菲索干涉仪

作者: KEVIN    发布于: 2014-01-05 14:01    点击:
Dimetior VB—同步相移菲索干涉仪

应用领域

    测量平面,凸面和凹面的面型

    长光程长度和远程斐索腔测量
    真空、低温室测量

    光学,机械加工和晶圆表面的在在线测量
    热力学事件和旋转盘的动态测量
    双折射效应的表征及退除
 

主要特征
使用相移模式实现准动态模式测量,4英寸USB接口干涉仪,更有40mm\60mm口径可选。

结构类型
 立式和卧式,任意测试方向
 静态或相移
 曲率半径


Dimetior VB 指标参数

系统

测试光束

102mm(4.0″)

变焦

1X 到 4X

焦距

+/- 4.0m

衰减

软件控制

对准方式

两点对准

对准视场

+/- 1.5 degrees

表现(1)

重复性 3-Flat(2)

l/300 PV

RMS 重复性(3)

£1 Å

校准精度

l/100 PV

未校准精度

l/70 PV

高度分辨率

l/8000

空间分辨率

1000 X 1000

数字化

10bits

处理时间

15 Frames/s

曝光时间

最小10ms

平均方法

光强和位相

激光器

波长

633nm (其他波长可选)

偏振

线偏

相干性

³100m

供电

110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts

机械

外形尺寸

489 mm x 330 mm x 325 mm

(19.3″ x 13″ x 12.8″)

重量

27 kg (60 lb)

工作环境(4)

温度

15 to 30°C (59 to 86°F)

温度变化率

<1.0°C per 15 min

湿度

Relative 5% to 95%

隔震要求

不需要隔振

(1)温度范围20-23°C,温度变化率<1°C/15分钟

(2)3-Flat测量采用每组32个进行平均得出3 sigma的重复性;

(3)3 sigma的rms采用128组数据,每组32个进行平均;

(4)这些参数表明系统可以工作在当前环境中,但并不表示环境稳定性需要满足这些要求。


可选配件

 同步相移菲索干涉仪

 

TS

TF

F/#

0.75

1.5

3.3

7

-

直径(mm)

130

126

高度(mm)

93

88

70

92.5

30

重量(kg)

3

2.9

2.1

2

0.7

TS半径

47

120

299

665

 

精度

£l/10

£l/20


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