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高精度多功能干涉仪

作者: KEVIN    发布于: 2014-01-05 14:18    点击:
Intellium Z100—高精度多功能干涉仪  高精度测量能力与无与伦比的灵活性和多功能性

应用领域:
    平面、凹面、凸面的面形检测;
    棱柱、角锥、楔角、均匀性检测;
    光加工、陶瓷、晶片/碟片的表面外貌;
    光学系统与元件的波前分析;
    OEM 系统集成。

主要特征和优势:
 采用IntelliPhase 空域载频分析技术实现准动态测量
 USB 连接主机和电脑,即插即用(Z100u)
 1K×1K 空间分辨率(Z100u)
 1×-6x 变焦,焦距和光强可调
 紧凑坚固的结构设计、重量轻
 曝光时间可调
 提供150mm、200mm、300mm 口径
 兼容行业标准的4 英寸参考光学件和附件
 性价比极高
 可水平、垂直向上和垂直向下配置
 选配工作台可进行平面和长短轴曲率半径的检测

 
 

Intellium TM Z100 指标参数

技术

静态 IntelliPhase TM 与PZT相移

系统

测试光束

102mm(4.0″)

变焦

1X 到 6X

焦距

+/- 2.0m

衰减

可调

对准方式

两点对准

对准视场

+/- 1.5 degrees

表现(1)

重复性 3-Flat(2)

l/300 PV

RMS 重复性(3)

£1 Å

校准精度

l/100 PV

未校准精度

l/70 PV

高分辨率

l/8000

空间分辨率

640 X 800

数字化

8bits

处理时间

300ms

平均方法

光强和位相

激光器

波长

632.8nm SLM HeNe (其他选项可选)

偏振

圆偏

相干性

³100m

供电

110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts

机械

外形尺寸

338 mm x 190 mm x 254 mm

13.5” x 7.5” x 10”

重量

14 kg (31 lb)

工作环境(4)

温度

15 to 30°C (59 to 86°F)

温度变化率

<1.0°C per 15 min

湿度

Relative 5% to 95%

隔震要求

需要对1 Hz to 120 Hz频率进行隔震

(1)无振动环境,温度范围20-23°C,温度变化率<1°C/15分钟,无热源;

(2)3-Flat测量采用每组32个进行平均得出3 sigma的重复性;

(3)3 sigma的rms采用128组数据,每组32个进行平均;

(4)这些参数表明系统可以工作在当前环境中,但并不表示环境稳定性需要满足这些要求。


可选配件

 

 

TS

TF

F/#

0.75

1.5

3.3

7

11

-

直径(mm)

130

126

高度(mm)

93

88

70

92.5

97

30

重量(kg)

3

2.9

2.1

2

2

0.7

TS半径

47

120

299

665

1050

 

精度

£l/10

£l/20

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