Intellium TM Z100 指标参数：
技术
静态 IntelliPhase TM 与PZT相移
系统
测试光束
102mm(4.0″)
变焦
1X 到 6X
焦距
+/- 2.0m
衰减
可调
对准方式
两点对准
对准视场
+/- 1.5 degrees
表现(1)
重复性 3-Flat(2)
l/300 PV
RMS 重复性(3)
£1 Å
校准精度
l/100 PV
未校准精度
l/70 PV
高分辨率
l/8000
空间分辨率
640 X 800
数字化
8bits
处理时间
300ms
平均方法
光强和位相
激光器
波长
632.8nm SLM HeNe (其他选项可选)
偏振
圆偏
相干性
³100m
供电
110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts
机械
外形尺寸
338 mm x 190 mm x 254 mm
13.5” x 7.5” x 10”
重量
14 kg (31 lb)
工作环境(4)
温度
15 to 30°C (59 to 86°F)
温度变化率
<1.0°C per 15 min
湿度
Relative 5% to 95%
隔震要求
需要对1 Hz to 120 Hz频率进行隔震
(1)无振动环境，温度范围20-23°C，温度变化率<1°C/15分钟，无热源；
(2)3-Flat测量采用每组32个进行平均得出3 sigma的重复性；
(3)3 sigma的rms采用128组数据，每组32个进行平均；
(4)这些参数表明系统可以工作在当前环境中，但并不表示环境稳定性需要满足这些要求。
可选配件
TS
TF
F/#
0.75
1.5
3.3
7
11
-
直径(mm)
130
126
高度(mm)
93
88
70
92.5
97
30
重量(kg)
3
2.9
2.1
2
0.7
TS半径
47
120
299
665
1050
精度
£l/10
£l/20
