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长工作距离深紫外显微物镜

作者: Kevin    发布于: 2018-09-03 14:46    点击:

1.性能参数

ITEM # COATING M WD EFL NA TFS EA L SPOT SIZE
XWJ-40X-UV UV 40× 1.5mm 4.4mm 0.6 1μm 5.3mm 43.5mm 1μm

注:有限远共轭

2.外形尺寸

3.成像质量测试报告

 

4.检测结果

4.1焦距测量


焦距测量的测试波长为绿光(540nm),该波长下的显微物镜焦距为5.6mm,实测焦距为5.3mm

4.3 透过率测量


  陪镀片的剩余反射率曲线
  • 利用陪镀片进行测量,陪镀片厚度:8mm;
  • 结果:内透过率:99.6%;零件透过率:98.4%;单面透过率:99.485%
  • 整体透过率为94%(193nm处)。
 

4.2像质检测

a)    显微物镜对目标(小孔)所成的像 
              

  b)能量集中度曲线


c) 点扩散函数
 
 

5. 实物照片




 
 
 
 
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