XR源包括一个19英寸的机架，该机架包含气体子系统，功率传输子系统和电子控制设备；无电极Z-pinch光源组件及其集成的真空泵；以及高效脉冲调制器。这种模块化设计可轻松集成到显微镜或其他应用设备。 XR能够向2pi球形弧度提供高达400 milliwatts的2.8nm功率，并且将以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。 XR安装简单易于使用，仅需电源，冷冻水供应，干净的干燥压缩空气和高纯度氮气。
为了满足不同应用的使用需求，该产品在使用上进行了如下的优化，以期更加地用户友好：1、用户可以根据对峰值功率和峰值亮度的不同来调节EUV的光输出。2、在典型操作中，等离子体的直径通常小于1mm。3、系统外侧留有光学接口，方便客户进行应用程序设备的连接。4、自定义彩色用户页面，客户可跟根据需求选择手动或者自动菜单。
无电极 Z-Pinch™ 软X射线 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗显微镜和其他应用的软X射线（SXR）在同步加速器设施之外无法提供。现在，得益于Energetiq研发的实验室级光源，软X射线可以在各种实验室中用于通量水平的成像和微探测应用。
无电极 Z-Pinch™ 软X射线 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗显微镜和其他应用的软X射线（SXR）在同步加速器设施之外无法提供。现在，得益于Energetiq研发的实验室级光源，软X射线可以在各种实验室中用于通量水平的成像和微探测应用。
