基于环形光栅的设计,TGS(环形光栅摄谱仪)系列是紧致平坦场摄谱仪。在本设计中,光栅是固定的,使其达到了很好的稳定性和致密性。探测器滑过光谱仪的40mm出口平坦场。有三个光栅(包括主光栅和复光栅)可供选择,TGS系列覆盖了9.5到170纳米的大VUV范围 •单环形光栅设计 •三个光栅的选择 •散光水平低 •固定光栅位置 •CCD法兰可在出口焦平面调节 •主光栅或复制光栅的选择 •运动光栅安装或两个光栅滑块 •紧凑的设计 •高真空兼容 优化光谱范围和分辨率 40毫米平场摄谱仪 在真空聚焦和中心波长调整 优化损伤阈值或成本 可互换的光栅 节省空间,易于安装
Optical design
Toroïdal VLS Grating (fixed single optic)
Focal length
300 mm
Aperture
f/30
Gratings
2105 gr/mm : 9.5-32 nm
450 gr/mm : 10-110 nm
290 gr/mm : 15.5-170 nm
Optic coating
Pt or Au
Deviation angle
137°
Dispersion
2105 gr/mm : 0.5 nm/mm at 9.5 nm
450 gr/mm : 2.3 nm/mm at 10 nm
290 gr/mm : 3.5 nm/mm at 15.5 nm
Vacuum
5 10-6 mbar (HV version)
5 10-9 mbar (UHV version)
Pumping flange
DN63 CF
Entrance port
Micrometric slits (10 µm to 2 mm)
Entrance flange
DN40 KF (DN40 CF)
Exit port
Adjustable CCD port