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TGS真空紫外光谱仪

作者: Kevin Peng    发布于: 2018-12-26 21:46    点击:


Vacuum Spectrometer - TGS300

TGS 300 UHV HORIBA

环形光栅摄谱仪,来自同步加速器技术

基于环形光栅的设计,TGS(环形光栅摄谱仪)系列是紧致平坦场摄谱仪。在本设计中,光栅是固定的,使其达到了很好的稳定性和致密性。探测器滑过光谱仪的40mm出口平坦场。有三个光栅(包括主光栅和复光栅)可供选择,TGS系列覆盖了9.5到170纳米的大VUV范围

•单环形光栅设计

•三个光栅的选择
•散光水平低
•固定光栅位置
•CCD法兰可在出口焦平面调节
•主光栅或复制光栅的选择
•运动光栅安装或两个光栅滑块
•紧凑的设计
•高真空兼容
优化光谱范围和分辨率
40毫米平场摄谱仪
在真空聚焦和中心波长调整
优化损伤阈值或成本
可互换的光栅
节省空间,易于安装
 

Optical design

Toroïdal VLS Grating (fixed single optic)

Focal length

300 mm

Aperture

f/30

Gratings

2105 gr/mm : 9.5-32 nm

450 gr/mm : 10-110 nm

290 gr/mm : 15.5-170 nm

Optic coating

Pt or Au

Deviation angle

137°

Dispersion

2105 gr/mm : 0.5 nm/mm at 9.5 nm

450 gr/mm : 2.3 nm/mm at 10 nm

290 gr/mm : 3.5 nm/mm at 15.5 nm

Vacuum

5 10-6 mbar (HV version)

5 10-9 mbar (UHV version)

Pumping flange

DN63 CF

Entrance port

Micrometric slits (10 µm to 2 mm)

Entrance flange

DN40 KF (DN40 CF)

Exit port

Adjustable CCD port

Exit flange DN100 CF

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