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真空紫外介绍

作者: Kevin Peng    发布于: 2018-12-26 22:01    点击:

Vacuum UV Spectroscopy

在过去的35年里,HORIBA 为同步加速器中心和更广泛的科学界开发了一些最创新的真空紫外线单色仪。这些单色仪充分利用了我们在衍射光栅设计方面的领先地位,将最先进的衍射光栅技术与超精密的真空力学相结合。他们已经安装在几个同步加速器中心,并显示了一贯的优越性能。HORIBA公司已经开发出了一大批紧凑的VUV单色仪,用于极端紫外光刻和软x射线光谱学的应用。

什么是VUV ?为什么我们需要一个高真空的VUV系统?
紫外线以下的波长有好几个名称。然而,由于空气的吸收下降到更低纳米,并且需要减少环境实验的部件,这个光谱范围被称为真空紫外线(VUV)。
VUV区域被“上面”的紫外(UV)光谱区域(从200 nm处)和“下面”的硬x射线区域(大约1 nm处)的长波长侧所包围。
真空紫外区域主要由三个区域组成:
远紫外线(FUV): 200- 120nm

 
极端紫外线(EUV): 120-10纳米
 
软X射线(软X): 15-0.2 nm
这些领域有它们自己的物理意义:
远紫外在120纳米左右结束,对应辐射透过任何窗口材料的透射率的自然屏障。穷人在软x射线反射率光学要求使用大偏差角度170°(极低放牧的角度)。


如果真空紫外线辐射被大气中的大多数气体阻挡,它们可以部分地通过氮气、氢气等透明气体传播,也可以完全通过真空传播。因此,VUV分析需要高真空(~10-6 mbar, 10-4 Pa)到超高真空(~10-9 mbar, 10-7Pa)水平的真空技术。

What units are used in VUV?

Energy

The energy E, the frequency n, and the wavelength λ of a
photon are related by:
E = hν = hc/λ
Electron Volt conversion: E (eV) = 1240/ λ (nm)



有关真空和真空的单位
真空的质量与系统中剩余粒子的数量有关。
气体分子相互碰撞前的平均距离是真空级的特征。通过泵送腔室来增加这个距离可以提高真空的质量。
Pressure
The International System of Units (SI) of the pressure is the Pascal (Pa), equal to a force of 1 N/m2, but the CGS unit called Bar (bar) is largely employed, too. The vacuum pressure can also be measured in torrs (Torr) or in atmospheres (Atm). For conversions, professionals prefer to use units such as millibars (mbar) and hectoPascal (hPa) which are the easiest way to convert those units in torrs with an approximate factor. The below approximations for the unit conversion is commonly accepted.
Vacuum range
Low (rough) vacuum Atmospheric pressure to 1 mbar
Medium vacuum 1 to 10-3 mbar
High vacuum (HV) 10-3 to 10-8 mbar
Ultrahigh vacuum (UHV) 10-8 to 10-12 mbar
Extreme High vacuum (EHV) Less than 10-12 mbar

High vacuum (HV)

Fig. 2: High vacuum (HV)A level of the High Vacuum of about 10-5 to 10-6 mbar (10-3 to 10-4 Pa) is sufficient for most of the VUV applications applied for deposition of thin films, semiconductors, most of the characterizations by reflectance or absorbance methods, and spectral emissions … where a none strict vacuum is targeted, leaving free passage of light, particles and electrons.

Ultra high vacuum (UHV)

Fig. 3: Ultra high vacuum (UHV)

The Ultra High Vacuum is more dedicated to the research domains, such as fusion studies, electron sciences, Free Electron Lasers or Synchrotrons, where contaminations with molecules of residual gas may be an issue in the experiments are good examples.




















































为满足各种真空紫外测试的需求,我们推出0-200nm之间各种真空紫外单色仪/摄谱仪,同时可以根据客户要求量身定极紫外测试系统。更多信息请关注:

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